LMS - Linear Motion System
Bosch Rexroth
Linear Motion System
LCD, OLED, 반도체, Solar Cell, 2차 전지,
자동차 생산 물류 라인 등 생산 효율 향상을
위한 공정에 적용되고 있으며,고온, 고 진공 및
열악한 가스 환경 등에도 가능한 최적의
차세대 캐리어 이송 솔루션
보쉬 렉스로스 LMS Solution은 OLED, Semiconductor, Solarcell 등 고진공, 고온, 화학 가스 환경과 같은 열악한 환경에서 정밀 이송하는 새로운 개념의 솔루션
다수의 캐리어를 독립적으로 구동할 수 있는 LMS 솔루션은 정밀하게 동작되며 복잡한 모션이 요구되는 어플리케이션에 최적화 되어있고, 고하중 캐리어 구동 지원 및 고속 모션 지원
고진공 및 화학 가스 등 열악한 환경에서 정밀 이송하는 새로운 개념의 LMS 솔루션
기존 시스템은 케이블로부터 자유롭지 못하며, 케이블의 마모, 손상 및 큰 유지 보수 비용이라는 리스크가 있으나 LMS 시스템은 케이블로부터 자유로워 Chamber 내부에서 캐리어를 이송하는데 제약이 없으며 유지 및 보수가 용이함
LMS (Linear Motion System) 솔루션 장점
• 진공 내 케이블이 없는 캐리어 반송
• 진공 및 특수 환경에서 최대 32 개 캐리어를 독립적으로 속도 및 고정밀 위치 제어
• 홀센서를 이용한 비접촉 캐리어 위치 센싱
• 리니어 트랙 및 타원형 트랙 등 다양한 트랙 구성 가능
• 간편한 유지 및 보수
LMS 적용 Application
고진공 내에서 단일 직선 트랙뿐만 아니라 타원 트랙 및 Ferry 트랙으로 유연하게 시스템을 구성할 수 있습니다.